高效率：采用高速同步運動控制技術，全方位滿足IC產品高效檢測需求
高檢出率：基于特征機器學習算法有效識別細微缺陷，提高缺陷檢出率
智能性：提供處方輔助編輯功能，提升人員效率，縮短新產品導入周期
全面性：支持IC各工序的全自動檢驗，具備良好的物料兼容性
工廠自動化：支持SECS/GEM SEMI標準，全面滿足工廠自動化需求
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