高效率:采用高速同步運動控制技術,全方位滿足IC產品高效檢測需求
高檢出率:基于特征機器學習算法有效識別細微缺陷,提高缺陷檢出率
智能性:提供處方輔助編輯功能,提升人員效率,縮短新產品導入周期
全面性:支持IC各工序的全自動檢驗,具備良好的物料兼容性
工廠自動化:支持SECS/GEM SEMI標準,全面滿足工廠自動化需求

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