高分辨率：采用高分辨率成像系統(tǒng)，提升顆粒探測靈敏度至微米量級
高檢出率：配置多種照明模式，提高不同缺陷檢測工藝適應(yīng)性
高產(chǎn)率：配備3個獨立SMIF版庫、提高設(shè)備產(chǎn)率
顆粒清潔：配置氣浴模塊，可清潔玻璃表面顆粒
工廠自動化：支持SECS/GEM SEMI標(biāo)準(zhǔn)，全面滿足工廠自動化需求
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